Support et traversée multi-cristaux

Capteurs rotatifs multi-cristaux

Surveillance continue du débit pour les longs cycles de revêtement

Notre Capteurs rotatifs multi-cristaux sont conçus pour les surveillance et contrôle fiables et continus du débit lors des procédés de dépôt de couches minces prolongées. Disponible en Configurations cristallines à 6 et 8 cristaux, ces capteurs utilisent cristaux de quartz de diamètre standard de 0.550 pouce, monté perpendiculairement à la bride pour des mesures précises et répétables.

Conçus pour offrir flexibilité et facilité d'intégration, les capteurs permettent positionnement précis des cristaux, y compris jusqu'à flexion hors axe de 30°, Et peut être personnalisé en longueur totale et style de bride à vide pour correspondre à la géométrie de votre chambre.

Conçu pour un fonctionnement continu

• commutation automatique du cristal La défaillance du cristal assure une surveillance continue du processus
• Optionnel position intermédiaire de l'obturateur permet un fonctionnement flexible et une protection du cristal
• Installable en tant que assemblage intérieur-extérieur ou un unité continue unique pour un accès facile et un rechargement rapide des cristaux
• Des systèmes et infrastructures entièrement Compatible avec l'ultra-vide pour des environnements exigeants de haute pureté

Le capteur mémoire positionnelle permet une identification et une attribution aisées des cristaux individuels, tandis que l'intégration Contrôleur de moteur PLC s'interface parfaitement avec la plupart des dépôts moniteurs et contrôleurs d'épaisseur.

Pour une excellente stabilité thermique lors des longs fonctionnements, les capteurs sont équipés de Tubes de refroidissement de 3/16″ de diamètre, en maintenant des performances constantes dans des conditions de processus exigeantes.

Types d'entreprises fiabilité, automatisation et durées d'exécution prolongéesLes capteurs rotatifs multicristallins sont la solution idéale pour les utilisateurs qui ont besoin de surveillance continue sans interruption dans les systèmes de revêtement en couches minces avancés.