Termes de vide
Termes de vide
A
Absorption
Le processus par lequel un gaz ou une vapeur pénètre au cœur d'un solide ou d'un liquide.
Adsorption
Le processus par lequel les molécules de gaz adhèrent à la surface d'un solide.
Anode
L'électrode positive d'un dispositif électronique. Dans une pompe à ions, c'est l'électrode la plus positive et elle peut collecter à la fois des électrons et des ions négatifs.
B
Baffle
Un système de surfaces refroidies positionnées entre l'entrée de la pompe et la zone pompée pour condenser les vapeurs refoulées et les renvoyer à la pompe.
Cuisson au four
Le chauffage contrôlé des composants sous vide pendant le pompage permet d'accélérer la libération des gaz adsorbés et absorbés.
Jauge de Bayard-Alpert
Une chaude-jauge à ionisation cathodique dans laquelle la cathode est positionnée à l'extérieur de la grille et le collecteur d'ions est un fil axial mince.
Cloche en verre
Une chambre à vide cylindrique avec un joint amovible, généralement montée sur une plaque de base.
C
Capacitance
Le rapport entre la charge électrique et le potentiel d'un conducteur isolé et chargé électriquement.
Manomètre capacitif
Un capteur de pression qui détermine la pression à partir des variations de capacité entre une pression-élément sensible et surface de référence.
Cathode
L'électrode négative d'un dispositif électronique. Dans une pompe à ions, c'est l'électrode la plus négative ; elle peut émettre des électrons et collecter des ions positifs.
Manomètre à cathode froide
Une jauge à ionisation dans laquelle les électrons sont générés par bombardement de photons et d'ions à température ambiante, sans recourir à l'émission thermoïonique.
Conductance de condensation
Le processus par lequel une vapeur se transforme en liquide ou en solide. Également défini comme le rapport du débit de gaz, en régime permanent-conditions d'état, à la différence de pression entre deux points dans un système de pompage.
Manomètre CONVECTRON®
Une convection-Pirani amélioré-type de jauge offrant une plage de mesure étendue, notamment de la pression atmosphérique jusqu'à 1×10⁻⁴ mbar.
Convection
Le transfert de chaleur par le mouvement des gaz provoqué par la gravité.
Pompe cryogénique (cryopompe)
Une pompe à vide qui capture les gaz par condensation et/ou sorption sur des surfaces refroidies à des températures où les pressions de vapeur deviennent négligeables.
D
Dégazage
L'élimination intentionnelle d'un gaz d'un matériau, généralement par chauffage sous vide.
Désorption
La libération d'atomes ou de molécules d'une surface solide due à : a) l'impact de particules, b) l'impact d'électrons, c) l'impact d'ions, d) l'impact de photons ou e) l'énergie thermique.
E
Électrode
Un composant conducteur dans un dispositif électronique qui émet, collecte ou contrôle le flux de courant électrique.
Électron
Une particule fondamentale dotée d'une charge négative et d'une masse approximativement 1/1840 de celle d'un atome d'hydrogène.
faisceau d'électrons
Un flux dirigé d'électrons se déplaçant à des vitesses similaires et dans la même direction.
ESD (désorption stimulée par électrons)
La désorption des ions des surfaces est provoquée directement par le bombardement électronique.
F
Traversée
Un dispositif permettant le passage d'un courant électrique, de fluides ou d'un mouvement mécanique à travers la paroi d'un système sous vide.
Filament
Voir Cathode.
G
Gaz
Un état de la matière dans lequel les molécules se déplacent librement et se dilatent pour remplir tout le volume de leur contenant.
Tube de jauge
Un capteur ou transducteur à vide utilisé pour mesurer la pression.
Contrôleur de jauge
Électronique alimentant un tube manométrique et fournissant des relevés de pression via un affichage et/ou une sortie analogique/numérique.
Getter
Un matériau qui réagit chimiquement avec des gaz actifs pour former des composés stables et peu amorphes.-vapeur-composés de pression, les éliminant ainsi de la phase gazeuse.
Grille
Une électrode chargée positivement dans un bain chaud-jauge à ionisation cathodique qui accélère les électrons émis par la cathode.
H
Jauge de cathode chaude
Un manomètre à ionisation qui mesure la pression en fonction du courant d'ions positifs générés par les électrons émis par une cathode chauffée.
Tube de jauge à ionisation à filament chaud
Un assemblage contenant un élément chaud-jauge d'ionisation cathodique et port de connexion pour l'intégration dans un système sous vide.
I
ion
Un atome ou une molécule qui a acquis une charge électrique par la perte ou le gain d'un ou plusieurs électrons.
ionisation
Le processus par lequel les ions se forment, généralement par l'ajout ou le retrait d'électrons d'un atome ou d'une molécule.
Jauge d'ionisation
Un manomètre à vide qui ionise les molécules de gaz et met en corrélation le courant ionique résultant — via un contrôleur de manomètre — avec la pression du gaz.
Collecteur d'ions
Une électrode à l'intérieur d'une jauge d'ionisation utilisée pour collecter et mesurer le courant ionique.
Courant ionique
Le débit auquel les ions convergent vers le collecteur d'ions.
Pompe ionique
Une pompe à vide dans laquelle l'ionisation permet la capture et la rétention des molécules de gaz. Elle fonctionne comme une « capture ».-et-dispositif de pompage « tenir ».
L
Flux laminaire
Lisse, non-Écoulement turbulent d'un fluide en couches parallèles près d'une surface limite.
Fuite
Un orifice ou un passage perméable à travers lequel un gaz circule en raison d'une différence de pression.
M
manomètre
Un instrument utilisé pour mesurer la pression des gaz ou des vapeurs.
Spectromètre de masse
Un instrument analytique qui ionise un échantillon et sépare les ions en fonction de leur masse.-à-le rapport de charge et mesure leur abondance relative.
Voie libre moyenne
La distance moyenne parcourue par une molécule de gaz avant d'entrer en collision avec une autre molécule.
Pompe mécanique
Une pompe à vide qui utilise des composants mobiles, tels que des ailettes rotatives, des pistons ou des mécanismes rotatifs, pour extraire le gaz ou la vapeur.
MICRO-Jauge ION™
Un compact, tout-Manomètre à ionisation métallique doté de deux collecteurs d'ions pour des performances fiables sur une large plage de pression.
micron
Une unité de pression égale à 10⁻³ mmHg (10⁻³ Torr).
Module
Un manomètre à vide dans lequel l'élément de détection et l'électronique de commande sont intégrés dans une seule unité.
Flux moléculaire
Écoulement gazeux dans lequel le libre parcours moyen est beaucoup plus grand que les dimensions du canal, ce qui fait que les molécules entrent en collision principalement avec les surfaces plutôt qu'entre elles.
Monocouche
Une seule couche complète d'atomes ou de molécules recouvrant une surface.
N
Jauge nue
Manomètre à vide sans enveloppe propre, conçu pour une installation directe dans un système de vide.
O
Dégazage
Le dégagement de gaz d'un solide ou d'un liquide lorsqu'il est exposé au vide.
P
Pression partielle
La pression exercée par chaque gaz au sein d'un mélange est appelée pression totale. La somme des pressions partielles est égale à la pression totale.
Pascal (Pa)
Une unité de pression égale à un newton par mètre carré (1 Pa = 7.5 × 10⁻³ Torr). 101 000 Pa = 760 Torr = 1 atmosphère.
Pénétration
Le passage d'un gaz à travers un solide par diffusion, souvent accompagné de processus de surface tels que la sorption, la dissociation, la migration et la désorption.
phase
Un état physique de la matière : solide, liquide ou gazeux.
Photon
L'unité fondamentale de l'énergie électromagnétique, caractérisée comme une particule sans masse et sans charge, dotée d'une durée de vie indéfinie.
Jauge de Pirani
Une jauge de conductivité thermique utilisant un filament chauffé dont la résistance varie avec la pression du gaz, permettant la mesure de la pression sur une plage définie.
Plasma
Un gaz ionisé contenant un nombre approximativement égal de porteurs de charge positifs et négatifs, constitué d'électrons, d'ions, d'atomes et de molécules en équilibre dynamique.
Pression
La force normale moyenne par unité de surface exercée par les molécules de gaz frappant une surface.
Différentiel de pression
La différence de pression absolue entre deux régions.
Électron primaire
Un électron émis directement par la cathode d'une jauge à ionisation.
R
Gaz résiduel
Gaz restant dans une chambre à vide après pompage.
Analyseur de gaz résiduels (RGA)
Un instrument utilisé pour identifier et quantifier les espèces gazeuses présentes dans une chambre à vide.
Chauffage par résistance
Chauffage produit par le passage d'un courant électrique à travers un matériau résistif.
S
Électron secondaire
Un électron émis par un matériau suite au bombardement par un électron primaire.
Sensibilité
L'efficacité d'une jauge à ionisation est mesurée par le rapport du courant ionique au produit du courant électronique et de la pression du gaz. Elle dépend de la géométrie de la jauge, de la tension de grille et du point de croisement d'ionisation du gaz.-.
Absorption
Terme général désignant l'absorption de gaz ou de vapeur par un solide, englobant à la fois l'adsorption et l'absorption.
Sputtering
L'érosion progressive d'une cathode sous faible pression-Décharge électrique sous pression, provoquée par le bombardement de molécules de gaz ionisées. Les atomes libérés peuvent se redéposer sur les surfaces voisines ou retourner à la cathode par collisions.
STABLE-Jauge ION®
Une jauge d'ionisation Bayard-Alpert de précision, conçue pour une exactitude et une durée de vie exceptionnelles.-stabilité à terme.
Sublimation
Le passage direct d'une substance de l'état solide à l'état gazeux sans passer par la phase liquide.
Soutien
Un support sur lequel des couches, des films ou des couches minces sont déposés.-Les composants du film sont déposés. Les substrats courants comprennent le verre, l'alumine et les monocouches.-matériaux cristallins.
T
jauge à thermistance
Un Pirani-type de jauge utilisant la température des semi-conducteurs-Des éléments sensibles à la place des filaments métalliques.
jauge à thermocouple
Une jauge de conductivité thermique utilisant un filament chauffé et une jonction thermocouple pour mesurer la température du filament en fonction de la pression du gaz.
Cadence de production
Le débit de gaz entrant dans une pompe à vide ou traversant un orifice est défini comme suit : vitesse de pompage × pression ou conductance × différentiel de pression.
Torr
Une unité de pression égale à 1/760 d'atmosphère (1 mmHg).
Flux de transition
Écoulement gazeux dans lequel le libre parcours moyen est comparable aux dimensions du canal, avec un comportement influencé par les interactions moléculaires et visqueuses.
Trap
Un dispositif qui capture les vapeurs ou les gaz à l'aide de surfaces froides et/ou de matériaux adsorbants.
Pompe turbomoléculaire
Un haut-vitesse axiale-pompe à flux composée de pales de rotor et de stator alternées qui communiquent une impulsion directionnelle aux molécules de gaz, permettant un pompage efficace en régime d'écoulement moléculaire.
Écoulement turbulent
Écoulement gazeux caractérisé par un comportement chaotique et non-mouvement laminaire à hautes pressions ou vitesses.
V
Vide
Un milieu gazeux dont la pression est inférieure à la pression atmosphérique. Les classifications courantes comprennent :
- Faible vide : 25 mbar à l'atmosphère
- Vide moyen : 10⁻³ à 25 mbar
- Vide poussé : 10⁻⁶ à 10⁻³ mbar
- Vide très poussé : 10⁻⁹ à 10⁻⁶ mbar
- Vide ultra-poussé : 10⁻¹² à 10⁻⁹ mbar
- Vide ultra-poussé extrême : en dessous de 10⁻¹² mbar
Chambre à vide
L'enceinte à l'intérieur d'un système sous vide qui est mise sous vide et utilisée pour des procédés ou des expériences.
Manomètre à vide
Un instrument de mesure des pressions inférieures à la pression atmosphérique, généralement composé d'un tube manométrique et de l'électronique associée.
Pompe à vide
Un dispositif qui réduit et maintient la pression en dessous des niveaux atmosphériques en éliminant ou en capturant les molécules de gaz.
Système de vide
Un ensemble complet de chambres, pompes, vannes, conduites et instruments utilisés pour créer et maintenir des conditions de vide.
Valve
Un dispositif mécanique qui démarre, arrête ou régule le flux de gaz ou de vapeur en ouvrant ou en obstruant un passage.
Vapeur
La phase gazeuse d'une substance qui est normalement solide ou liquide à température ambiante et à pression atmosphérique.
Pression de vapeur
La pression de vapeur saturante d'une substance à une température donnée.
Écoulement visqueux
Écoulement gazeux où le libre parcours moyen est très inférieur aux dimensions du canal, le comportement étant dominé par les collisions intermoléculaires. L'écoulement peut être laminaire ou turbulent.
X
X-Limite de rayon
La limite inférieure théorique de pression d'une jauge à ionisation, déterminée par la pression-courants indépendants générés par X-rayon-photoélectrons induits au niveau du collecteur ou de l'enveloppe de la jauge.
