Capteur à cristal

Surveillance fiable pour les cycles de dépôt courts et longs

Lors du dépôt de couches minces, caractéristiques électriques du cristal de quartz—sécurisées à l'intérieur du capteur—varient à mesure que la matière s'accumule. Ces variations sont mesurées avec précision afin de déterminer taux de dépôt et épaisseur du film.

Pour dépôts courts capteur monocristallin est généralement suffisant. processus plus longs ou ininterrompus, capteurs à double cristal sont préférés. Les capteurs doubles prolongent la durée de fonctionnement en protégeant alternativement un cristal pendant que l'autre est actif, grâce à un obturateur à commande pneumatique contrôlé par une conduite d'air.

L'intégration des capteurs est flexible :

• Les capteurs peuvent être soudé directement au traversant pour une installation robuste et permanente
• Or connecté via des connecteurs pour un remplacement et un entretien faciles

La plupart des configurations de capteurs sont également disponibles avec lignes de refroidissement intégrées, assurant ainsi la stabilité thermique et une durée de vie plus longue des cristaux lors de processus de dépôt exigeants.