Vacuüm termen
Vacuüm termen
A
Absorptie
Het proces waarbij een gas of damp doordringt in de massa van een vaste stof of vloeistof.
adsorptie
Het proces waarbij gasmoleculen zich hechten aan het oppervlak van een vaste stof.
Anode
De positieve elektrode in een elektronenapparaat. In een ionenpomp is dit de meest positieve elektrode en kan elektronen en negatieve ionen opvangen.
B
scherm
Een systeem van gekoelde oppervlakken, geplaatst tussen de pompinlaat en het verpompte gebied, om terugstromende dampen te condenseren en terug te voeren naar de pomp.
Bakken
Gecontroleerde verwarming van vacuümcomponenten tijdens het pompen om de afgifte van geadsorbeerde en geabsorbeerde gassen te versnellen.
Bayard-Alpert-meter
Een hete-Een kathode-ionisatiemeter waarbij de kathode buiten het rooster is geplaatst en de ionenverzamelaar een dunne axiale draad is.
Bell Jar
Een cilindrische vacuümkamer met een verwijderbare afdichting, doorgaans gemonteerd op een grondplaat.
C
Capaciteit
De verhouding tussen elektrische lading en potentiaal op een geïsoleerde, elektrisch geladen geleider.
Capaciteitsmanometer
Een druksensor die de druk bepaalt aan de hand van veranderingen in capaciteit tussen een druk en een oppervlak.-gevoelig element en een referentieoppervlak.
Kathode
De negatieve elektrode in een elektronenapparaat. In een ionenpomp is dit de meest negatieve elektrode en kan elektronen uitzenden en positieve ionen verzamelen.
Koudkathodemeter
Een ionisatiemeter waarin elektronen worden gegenereerd door bombardement met fotonen en ionen bij omgevingstemperatuur, zonder gebruik te maken van thermische emissie.
Condensatiegeleidbaarheid
Het proces waarbij een damp overgaat in een vloeistof of vaste stof. Ook wel gedefinieerd als de verhouding van de gasdoorvoer onder stationaire omstandigheden.-toestandsomstandigheden, tot het drukverschil tussen twee punten in een pompsysteem.
CONVECTRON®-meter
Een convectie-verbeterde Pirani-Een manometer met een uitgebreid meetbereik, met name van atmosferische druk tot 1×10⁻⁴ mbar.
Convectie
De overdracht van warmte door de beweging van gas als gevolg van de zwaartekracht.
Cryogene pomp (Cryopump)
Een vacuümpomp die gassen opvangt door condensatie en/of sorptie op oppervlakken die zijn afgekoeld tot temperaturen waarbij de dampdruk verwaarloosbaar wordt.
D
ontgassen
Het doelbewust verwijderen van gas uit een materiaal, meestal door het onder vacuüm te verhitten.
desorptie
Het vrijkomen van atomen of moleculen van een vast oppervlak als gevolg van: a) deeltjesbotsing, b) elektronenbotsing, c) ionenbotsing, d) fotonenbotsing of e) thermische energie.
E
elektrode
Een geleidend onderdeel in een elektronisch apparaat dat elektrische stroom uitzendt, opvangt of regelt.
Elektron
Een fundamenteel deeltje met een negatieve lading en een massa die ongeveer 1/1840 is van die van een waterstofatoom.
Elektronenbundel
Een gerichte stroom elektronen die met vergelijkbare snelheden en in dezelfde richting bewegen.
ESD (elektrongestimuleerde desorptie)
De desorptie van ionen van oppervlakken wordt rechtstreeks veroorzaakt door elektronenbombardement.
F
Doorvoer
Een apparaat dat het mogelijk maakt dat elektrische stroom, vloeistoffen of mechanische beweging door de wand van een vacuümsysteem kunnen passeren.
Gloeidraad
Bekijk Kathode.
G
Gas
Een toestand van materie waarin moleculen vrij bewegen en uitzetten om het volledige volume van hun container te vullen.
Manometerbuis
Een vacuümsensor of -transducer die wordt gebruikt om de druk te meten.
Metercontroller
Elektronica die een manometer van stroom voorziet en drukmetingen weergeeft via een display en/of analoge/digitale uitgang.
verkrijger
Een materiaal dat chemisch reageert met actieve gassen om stabiele, lage concentraties te vormen.-damp-drukverbindingen, waardoor ze uit de gasfase worden verwijderd.
Raster
Een positief geladen elektrode in een hete-Een kathode-ionisatiemeter die elektronen versnelt die door de kathode worden uitgezonden.
H
Warme kathode meter
Een ionisatiemeter die de druk meet op basis van de stroom positieve ionen die worden gegenereerd door elektronen die worden uitgezonden door een verhitte kathode.
Ionisatiemanometerbuis met gloeidraad
Een samenstelling die een hete-Kathode-ionisatiemeter en een aansluitpoort voor integratie in een vacuümsysteem.
I
ion
Een atoom of molecuul dat een elektrische lading heeft verkregen door het verlies of de winst van een of meer elektronen.
ionisatie
Het proces waarbij ionen worden gevormd, meestal door het toevoegen of verwijderen van elektronen aan een atoom of molecuul.
Ionisatiemeter
Een vacuümmeter die gasmoleculen ioniseert en de resulterende ionenstroom – via een metercontroller – correleert met de gasdruk.
Ionenverzamelaar
Een elektrode in een ionisatiemeter die wordt gebruikt om ionenstroom op te vangen en te meten.
Ionstroom
De snelheid waarmee ionen naar de ionenverzamelaar stromen.
Ionenpomp
Een vacuümpomp waarbij ionisatie leidt tot het opvangen en vasthouden van gasmoleculen. Het werkt als een "opvangpomp".-en-pompapparaat vasthouden.
L
Laminaire stroming
Glad, niet-turbulente vloeistofstroming in parallelle lagen nabij een grensoppervlak.
Lekken
Een gat of doorlaatbaar pad waardoor gas stroomt als gevolg van een drukverschil.
M
manometer
Een instrument dat gebruikt wordt om de druk van gassen of dampen te meten.
Massaspectrometer
Een analytisch instrument dat een monster ioniseert en de ionen scheidt op basis van massa.-naar-ladingsverhouding, en meet hun relatieve abundantie.
Gemiddelde vrije weglengte
De gemiddelde afstand die een gasmolecuul aflegt voordat het met een ander molecuul botst.
Mechanische pomp
Een vacuümpomp die gebruikmaakt van bewegende onderdelen – zoals roterende schoepen, zuigers of roterende mechanismen – om gas of damp te verwijderen.
MICRO-ION™-meter
Een compact, alles-Metaalionisatiemeter met dubbele ionencollectoren voor betrouwbare prestaties over een breed drukbereik.
Micron
Een drukeenheid gelijk aan 10⁻³ mmHg (10⁻³ Torr).
Module
Een vacuümmeter waarbij het meetelement en de besturingselektronica in één geheel zijn geïntegreerd.
Moleculaire stroom
Gasstroom waarbij de gemiddelde vrije weglengte veel groter is dan de afmetingen van het kanaal, waardoor moleculen voornamelijk met oppervlakken botsen in plaats van met elkaar.
Monolaag
Een enkele, complete laag atomen of moleculen die een oppervlak bedekt.
N
Naakte meter
Een vacuümmeter zonder eigen behuizing, ontworpen voor directe installatie in een vacuümsysteem.
O
Ontgassing
Het vrijkomen van gas uit een vaste stof of vloeistof wanneer deze aan een vacuüm wordt blootgesteld.
P
Gedeeltelijke druk
De druk die door een individuele gassoort in een mengsel wordt uitgeoefend. De som van alle partiële drukken is gelijk aan de totale druk.
Pascal (pa)
Een drukeenheid gelijk aan één newton per vierkante meter (1 Pa = 7.5 × 10⁻³ Torr). 101,000 Pa = 760 Torr = 1 atmosfeer.
Permeatie
De doorgang van gas door een vaste stof via diffusie, vaak vergezeld van oppervlakteprocessen zoals sorptie, dissociatie, migratie en desorptie.
Fase
Een fysische toestand van materie: vast, vloeibaar of gasvormig.
Photon
De fundamentele eenheid van elektromagnetische energie, gekenmerkt als een massaloos, ladingsloos deeltje met een oneindig lange levensduur.
Pirani-meter
Een thermische geleidbaarheidsmeter die gebruikmaakt van een verwarmde gloeidraad waarvan de weerstand varieert met de gasdruk, waardoor drukmeting over een bepaald bereik mogelijk is.
Plasma
Een geïoniseerd gas dat ongeveer evenveel positieve als negatieve ladingsdragers bevat, bestaande uit elektronen, ionen, atomen en moleculen in een dynamisch evenwicht.
Druk
De gemiddelde normaalkracht per oppervlakte-eenheid die wordt uitgeoefend door gasmoleculen die een oppervlak raken.
Drukverschil
Het verschil in absolute druk tussen twee gebieden.
Primair elektron
Een elektron dat rechtstreeks wordt uitgezonden door de kathode van een ionisatiemeter.
R
Restgas
Het gas dat na het wegpompen in de vacuümkamer achterblijft.
Restgasanalysator (RGA)
Een instrument dat wordt gebruikt om gassoorten in een vacuümkamer te identificeren en te kwantificeren.
Weerstandsverwarming
Warmte die ontstaat door een elektrische stroom door een weerstandbiedend materiaal te leiden.
S
Secundair elektron
Een elektron dat door een materiaal wordt uitgezonden als gevolg van bombardement door een primair elektron.
Gevoeligheid
Een maat voor de efficiëntie van een ionisatiemeter, gedefinieerd als de verhouding tussen de ionenstroom en het product van de elektronenstroom en de gasdruk. Deze is afhankelijk van de geometrie van de meter, de roosterspanning en de gasionisatiekruising.-pagina.
Sorptie
Een algemene term die de opname van gas of damp door een vaste stof beschrijft, en die zowel adsorptie als absorptie omvat.
sputteren
De geleidelijke erosie van een kathode onder lage omstandigheden-Drukontlading, veroorzaakt door bombardement van geïoniseerde gasmoleculen. Vrijgekomen atomen kunnen zich opnieuw afzetten op nabijgelegen oppervlakken of door botsingen terugkeren naar de kathode.
STABIL-ION®-meter
Een nauwkeurige Bayard-Alpert ionisatiemeter, ontworpen voor uitzonderlijke nauwkeurigheid en een lange levensduur.-stabiliteit op lange termijn.
Sublimatie
De directe overgang van een stof van vaste stof naar gasvormige toestand zonder de vloeibare fase te doorlopen.
Supporto
Een dragermateriaal waarop lagen, films of dunne oppervlakken kunnen worden aangebracht.-Filmcomponenten worden afgezet. Veelgebruikte substraten zijn onder andere glas, aluminiumoxide en enkelvoudig materiaal.-kristalmaterialen.
T
Thermistormeter
Een piranha-type meter dat gebruikmaakt van halfgeleidertemperatuur-gevoelige elementen in plaats van metalen draden.
Thermokoppelmeter
Een warmtegeleidingsmeter die gebruikmaakt van een verwarmde gloeidraad en een thermokoppel om de temperatuur van de gloeidraad te meten als functie van de gasdruk.
Doorvoer
De gasstroom in een vacuümpomp of door een opening, gedefinieerd als pompsnelheid × druk of geleidbaarheid × drukverschil.
Torr
Een drukeenheid gelijk aan 1/760 van een atmosfeer (1 mmHg).
Overgangsstroom
Gasstroom waarbij de gemiddelde vrije weglengte vergelijkbaar is met de afmetingen van het kanaal, en waarbij het gedrag wordt beïnvloed door zowel moleculaire als viskeuze interacties.
Val
Een apparaat dat dampen of gassen opvangt met behulp van koude oppervlakken en/of adsorberende materialen.
Turbomoleculaire pomp
Een hoge-snelheid axiaal-Een stromingspomp bestaande uit afwisselende rotor- en statorbladen die gerichte impulsen aan gasmoleculen geven, waardoor efficiënt pompen in het moleculaire stromingsregime mogelijk is.
Turbulente stroming
Gasstroming gekenmerkt door chaotisch, niet-chaotisch gedrag-Laminaire beweging bij hoge drukken of snelheden.
V
Vacuüm
Een gasvormige omgeving met een druk lager dan de atmosferische druk. Veelvoorkomende classificaties zijn onder andere:
- Laag vacuüm: 25 mbar tot atmosferische druk
- Gemiddeld vacuüm: 10⁻³ tot 25 mbar
- Hoog vacuüm: 10⁻⁶ tot 10⁻³ mbar
- Zeer hoog vacuüm: 10⁻⁹ tot 10⁻⁶ mbar
- Ultrahoog vacuüm: 10⁻¹² tot 10⁻⁹ mbar
- Extreem ultrahoog vacuüm: onder 10⁻¹² mbar
Vacuümkamer
De behuizing binnen een vacuümsysteem die geëvacueerd wordt en gebruikt wordt voor processen of experimenten.
Vacuümmeter
Een instrument voor het meten van drukken onder de atmosferische druk, doorgaans bestaande uit een manometerbuis en bijbehorende elektronica.
Vacuum pomp
Een apparaat dat de druk verlaagt en onder het atmosferische niveau houdt door gasmoleculen te verwijderen of af te vangen.
zuiging
Een complete set van kamers, pompen, kleppen, leidingen en instrumentatie die gebruikt worden om vacuümomstandigheden te creëren en te handhaven.
Klep
Een mechanisch apparaat dat de gas- of dampstroom start, stopt of reguleert door een doorgang te openen of te blokkeren.
damp
De gasfase van een stof die normaal gesproken vast of vloeibaar is bij kamertemperatuur en atmosferische druk.
Dampdruk
De verzadigde dampdruk van een stof bij een bepaalde temperatuur.
Viskeuze stroming
Gasstroom waarbij de gemiddelde vrije weglengte veel kleiner is dan de afmetingen van het kanaal, en waarbij het gedrag wordt gedomineerd door intermoleculaire botsingen. De stroming kan laminair of turbulent zijn.
X
X-straallimiet
De theoretische ondergrens van de druk van een ionisatiemeter, bepaald door de druk.-onafhankelijke stromen gegenereerd door X-straal-geïnduceerde foto-elektronen bij de collector of de meetmantel.
