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Technisches Fachwissen

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Hochtemperatur-Kristallhalter und Durchführung

Hochtemperatur-Dünnschichtsensoren

UHV-fähige Präzision für extreme Prozesse

Unsere Hochtemperatur-Dünnschichtsensoren, montiert auf drehbare ConFlat (CF)-Flansche, sind speziell konzipiert für UHV- und Hochtemperatur-Abscheidungsprozessemit einer Temperaturbeständigkeit von bis zu 300 ° C.Diese Sensoren bieten eine stabile und zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Umgebungen, in denen Standardlösungen versagen.

Für weniger extreme Bedingungen werden Sensoren montiert auf 1″ Grundplattenbolzen sind ebenfalls erhältlich. Aufgrund der Verwendung von Viton® O-Ringe Für die Vakuumversiegelung unterstützen diese Ausführungen Betriebstemperaturen bis zu 205 ° C.wodurch sie sich für Anwendungen bei moderaten Temperaturen eignen.

Eliminieren Ausgasung der Kabelummantelung Bei Ausheiz- oder Hochtemperatur-Beschichtungsprozessen zeichnen sich unsere Hochtemperatursensoren durch folgende Merkmale aus: Vakuumversiegelte Koaxialverbindung in einem starren EdelstahlrohrDiese vollständig geschlossene Konstruktion gewährleistet einen sauberen Betrieb, thermische Stabilität und langfristige Zuverlässigkeit.


Maßgeschneidert für Ihr System

Jeder Sensor ist Sonderanfertigung auf BestellungDies ermöglicht eine präzise Anpassung an Ihre Raumaufteilung. Kunden geben Folgendes an:

  • Kühlrohrlängen und Biegegeometrie
  • Konfiguration des Koaxialanschlussrohrs

Sensoren, die mit unseren Verschluss-/Betätigungsbaugruppe werden bewertet für:

  • Betriebstemperatur: bis zu 200 ° C.
  • Maximale Ausbacktemperatur: 300 ° C.

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