Multikristallhalter und Durchführung

Multikristalline Drehsensoren

Unterbrechungsfreie Durchflussüberwachung für lange Beschichtungsläufe

Unsere Multikristalline Drehsensoren sind konzipiert für zuverlässige, kontinuierliche Durchflussüberwachung und -steuerung bei längeren Dünnschichtabscheidungsprozessen. Verfügbar in 6- und 8-KristallkonfigurationenDiese Sensoren verwenden Quarzkristalle mit branchenüblichem Durchmesser von 0.550 Zoll, senkrecht zum Flansch montiert für genaue und wiederholbare Messungen.

Die Sensoren wurden auf Flexibilität und einfache Integration ausgelegt und ermöglichen präzise Kristallpositionierung, einschließlich bis zu 30° außermittige BiegungUnd kann sein Anpassbar in Gesamtlänge und Vakuumflansch-Ausführung um Ihrer Kammergeometrie zu entsprechen.

Für den Dauerbetrieb konzipiert

• Automatische Quarzumschaltung Bei Kristallausfall wird eine ununterbrochene Prozessüberwachung sichergestellt.
• Optional Zwischenverschlussposition ermöglicht flexible Bedienung und Kristallschutz
• Installierbar als Innen-Außen-Montage oder als einzelne kontinuierliche Einheit für einfachen Zugriff und schnelles Nachladen der Kristalle
• Voll UHV-kompatibel für anspruchsvolle Umgebungen mit hohen Reinheitsanforderungen

Der Sensor Positionsspeicher ermöglicht die einfache Identifizierung und Zuordnung einzelner Kristalle, während die integrierte SPS-Motorsteuerung Passt nahtlos in die meisten Abscheidungssysteme. Dickenmonitore und -regler.

Für eine ausgezeichnete thermische Stabilität bei Langzeitbetrieb sind die Sensoren ausgestattet mit Kühlrohre mit 3/16″ DurchmesserAufrechterhaltung einer gleichbleibenden Leistungsfähigkeit auch unter anspruchsvollen Prozessbedingungen.

Gebaut für Zuverlässigkeit, Automatisierung und verlängerte LaufzeitenMehrkristall-Drehsensoren sind die ideale Lösung für Anwender, die Folgendes benötigen: kontinuierliche Überwachung ohne Unterbrechung in fortschrittlichen Dünnschichtbeschichtungssystemen.