UHV-Leckventil

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Präzisions- und variable Leckageventile – Ultimative Kontrolle für Vakuumsysteme
Erreichen Sie mit unseren fortschrittlichen Leckageventilen eine unübertroffene Genauigkeit bei der Gasflussregelung. Diese Ventile eignen sich perfekt für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen und bieten eine präzise und stabile Leistung für sensible Prozesse.

✔ Präzisionsleckventil – Einstellbare Zinssätze bis zu 7 × 10⁻⁸ mBar·L/sec unter Verwendung einer austauschbaren Nickelmembran
✔ Variables Leckventil – Die Saphirdichtung mit belüfteten Gewinden verhindert Gaseinschlüsse und hält die Leckrate kontrolliert niedrig. 1 × 10⁻¹⁰ mBar·L/sec
✔ Empfindlichkeit des Lecksuchgeräts – Erkennt Lecks ab einer Größe von 1 × 10⁻¹⁰ mBar·L/sec für höchste Zuverlässigkeit

Entwickelt für Forschung, Halbleiterindustrie und hochentwickelte Vakuumsysteme, bei denen Präzision von größter Bedeutung ist.