Heißkathoden-Vakuummodul

Messkopf für Ultrahochvakuum – Präzision trifft auf Langlebigkeit

Überwachen Sie Ihren Prozess mit Zuversicht mithilfe unseres Kapazitätsmembran-Vakuummeterkopf, entwickelt für Ultrahochvakuumanwendungen und nahtlose Integration mit B-RAX™-Controller.

Messbereich:
✔ 1.0 × 10⁻⁹ bis 5 × 10⁻² Torr
✔ 1.3 × 10⁻⁹ bis 6.7 × 10⁻² mbar
✔ 1.3 × 10⁻⁷ bis 6.7 Pa

Volle Reichweite:
Von Ultrahochvakuum bis Atmosphäre wenn gepaart mit B-RAX™-Controller und ein Konvektionsmessgerät.

Design-Highlights:
✔ Doppel-Heißfaden-Design – Robuste Ganzmetallkonstruktion für lange Lebensdauer
✔ Eingebautes Elektrometer – Reduziert die Kosten für Steuerung und Verkabelung
✔ Kompakte, vor Ort austauschbare Sensoreinheit – Einfache Wartung

Controller-Integration:
Arbeitet ausschließlich mit B-RAX™-Controller für den Fernbetrieb, einschließlich:
• Glühfaden ein/aus
• Entgasungsfunktion
• Emissionsstromregelung

Ideal für Halbleiterwerkzeuge, Dünnschichtabscheidung und kritische VakuumprozesseDieses Messgerät liefert schnelle Reaktion, hervorragende Stabilität und echte Prozessüberwachung.