5-1000 Watt RF-voeding 13,56 MHz, luchtgekoeld, analoge en RS232/485-interface

Nauwkeurige voeding voor geavanceerde RF-processen

De RF-voeding is het hart van elk RF-systeem. Deze levert stabiele stroom op de vereiste werkfrequentie en genereert en conditioneert op betrouwbare wijze het RF-signaal voor nauwkeurige plasmaregeling.

Het RF-voedingspakketten zijn ontworpen voor naadloze integratie en eenvoudige installatie. Elk systeem omvat een complete kabelsetzodat je snel aan de slag kunt.

De belangrijkste kenmerken zijn:

• Volledig programmeerbare werking met procesreceptopslag
• Controlled vermogensopbouw en -afbouw om de thermische belasting op de doelen te minimaliseren
• Stabiele en reproduceerbare RF-output voor consistente procesresultaten.
• Ondersteuning handmatige of automatische matchingnetwerken om optimale energieoverdracht en maximale efficiëntie te garanderen.

Of het nu gaat om onderzoeks-, ontwikkelings- of productieomgevingen, onze RF-voedingen leveren de gewenste prestaties. controle, betrouwbaarheid en flexibiliteit Vereist voor veeleisende RF-plasma- en sputtertoepassingen.