Vacuümmodule met hete kathode

Ultrahoge vacuümmeetkop – Precisie en duurzaamheid gaan hand in hand

Bewaak uw proces met vertrouwen met behulp van onze Capaciteitsmembraan vacuümmeterkop, ontworpen voor ultrahoge vacuümtoepassingen en naadloze integratie met B-RAX™-controllers.

Meetbereik:
✔ 1.0 × 10⁻⁹ tot 5 × 10⁻² Torr
✔ 1.3 × 10⁻⁹ tot 6.7 × 10⁻² mbar
✔ 1.3 × 10⁻⁷ tot 6.7 Pa

Volledige bereikcapaciteit:
Vanaf ultrahoog vacuüm naar atmosfeer wanneer gecombineerd met B-RAX™-controllers en een convectiemeter.

Hoogtepunten van het ontwerp:
✔ Dubbel heet filamentontwerp – Robuuste, volledig metalen constructie voor een lange levensduur
✔ Ingebouwde elektrometer – Verlaagt de kosten voor controllers en bekabeling
✔ Compacte, in het veld vervangbare sensorassemblage - Makkelijk onderhoud

Controller-integratie:
Werkt uitsluitend met B-RAX™-controllers voor bediening op afstand, waaronder:
• Filament aan/uit
• Ontgassingsfunctie
• Emissiestroomregeling

Ideaal voor halfgeleidergereedschappen, afzetting van dunne filmen kritische vacuümprocessen, deze meter levert snelle responstijd, superieure stabiliteiten echte procesbewaking.