Diktemonitor SQM160

Zeer nauwkeurige snelheids- en dikteregeling voor dunnefilmprocessen

De SQM-160 maakt gebruik van bewezen kwartskristalsensortechnologie om zeer nauwkeurige metingen te leveren van afzettingssnelheid en filmdikte tijdens dunnefilmprocessen. Ontworpen voor zowel onderzoeks- als productieomgevingen, wordt het standaard geleverd met twee sensorinputs, met optionele uitbreiding ter ondersteuning tot zes sensoren voor geavanceerde systeemconfiguraties.

Voor verbeterde monitoring en integratie biedt de SQM-160 het volgende: dubbele analoge recorderuitgangen voor realtime snelheids- en diktesignalen. Sensoringangen kunnen flexibel worden geconfigureerd voor:

• Monitor verschillende materialen
• Gemiddelde van meerdere sensoren voor verbeterde nauwkeurigheid in grote systemen
• Opereren in dubbele sensormodus voor redundantie en stabiliteit

Een toegewijde frequentie-bemonsteringsmodus Helpt de levensduur van kristallen te verlengen in snelle afzettingsprocessen, waardoor de bedrijfskosten worden verlaagd zonder dat dit ten koste gaat van de prestaties.

Belangrijkste kenmerken en mogelijkheden

• Selecteerbare resolutie voor de weergave van de wisselkoers: 0.1 Å/s of 0.01 Å/s
• Keuze van Frequentie of massa weergavemodi
• Analoge uitgangen voor het registreren van snelheid en dikte
• optioneel hoge-resolutiemodus with Resolutie van 0.03 Hz at 10 metingen per seconde
• RS-232-connectiviteit standaard
• optioneel USB- of Ethernet-interfaces voor moderne systeemintegratie