Kristalsensor

Betrouwbare monitoring voor korte en lange getuigenverhoren.

Tijdens de dunnefilmdepositie, de elektrische eigenschappen van het kwartskristal—veilig vastgehouden in de sensor—veranderen naarmate er materiaal ophoopt. Deze veranderingen worden nauwkeurig gemeten om te bepalen afzettingssnelheid en filmdikte.

Bij korte getuigenverhoren, een enkelkristalsensor is doorgaans voldoende. Voor langere of ononderbroken processen, dubbelkristalsensoren hebben de voorkeur. Dubbele sensoren verlengen de bedrijfstijd door afwisselend het ene kristal te beschermen terwijl het andere actief is, met behulp van een pneumatisch bediende rolluik geregeld via een luchtleiding.

Sensorintegratie is flexibel:

• Sensoren kunnen zijn direct aan de doorvoer gelast voor een robuuste, permanente installatie
• Or verbonden via connectoren voor eenvoudige vervanging en onderhoud

De meeste sensorconfiguraties zijn ook verkrijgbaar met geïntegreerde koelleidingenwaardoor thermische stabiliteit en een langere levensduur van het kristal worden gewaarborgd tijdens veeleisende afzettingsprocessen.