Alimentation RF 10-2000 W, 13,56 MHz, refroidissement par air, interface analogique et RS232/485

Alimentation de précision pour les processus RF avancés

L'alimentation RF est le cœur de tout système RF, fournissant une puissance stable à la fréquence de fonctionnement requise tout en générant et en conditionnant de manière fiable le signal RF pour un contrôle précis du plasma.

Notre alimentations RF sont conçus pour une intégration parfaite et une installation facile. Chaque système comprend un ensemble de câbles complet, pour que vous puissiez démarrer rapidement.

Les principales caractéristiques comprennent:

• Fonctionnement entièrement programmable avec stockage de recettes de processus
• Contrôlé montée et descente en puissance minimiser les contraintes thermiques sur les cibles
• Sortie RF stable et reproductible pour des résultats de processus constants
• Support pour réseaux de correspondance manuels ou automatiques pour assurer un transfert de puissance optimal et une efficacité maximale

Que ce soit pour la recherche, le développement ou la production, nos alimentations RF offrent une puissance optimale. contrôle, fiabilité et flexibilité requis pour les applications exigeantes de plasma RF et de pulvérisation cathodique.