Moniteur d'épaisseur SQM160

Contrôle de haute précision de la vitesse et de l'épaisseur pour les procédés de couches minces

Le SQM‑160 utilisations éprouvées technologie de capteur à cristal de quartz pour fournir une mesure très précise de taux de dépôt et épaisseur du film lors des procédés de couches minces. Conçu pour les environnements de recherche et de production, il est livré de série avec deux entrées de capteur, avec une extension optionnelle pour prendre en charge jusqu'à six capteurs pour les configurations système avancées.

Pour une surveillance et une intégration améliorées, le SQM-160 offre double sortie analogique pour enregistreur pour les signaux de débit et d'épaisseur en temps réel. Les entrées des capteurs peuvent être configurées de manière flexible pour :

• Écran tactile différents matériaux
• Moyenne de plusieurs capteurs pour une précision accrue dans les grands systèmes
• Fonctionner dans mode à double capteur pour la redondance et la stabilité

Un dédié mode d'échantillonnage de fréquence permet de prolonger la durée de vie des cristaux dans les procédés de dépôt à haut débit, réduisant ainsi les coûts d'exploitation sans sacrifier les performances.

Principales fonctionnalités et capacités

• Résolution d'affichage du taux sélectionnable : 0.1 Å/s ou 0.01 Å/s
• Choix de Fréquence ou masse modes d'affichage
• Sorties analogiques pour l'enregistrement du taux et de l'épaisseur
• Optionnel mode haute résolution au Résolution de 0.03 Hz at 10 lectures par seconde
• connectivité RS-232 Standard
• Optionnel Interfaces USB ou Ethernet pour l'intégration de systèmes modernes