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Source de plasma en aval

Les systèmes plasma en aval de SAIREM fonctionnent à partir de mbar à la pression atmosphérique, permettant la génération efficace de radicaux réactifs pour une large gamme de procédés avancés. Les applications typiques incluent réduction des émissions de gaz (NOx, CF₄, SF₆), gazéification de matériaux à base de carbone en CO et H₂, PECVD, stérilisation, activation de surface pour une meilleure adhérence, synthèse de nanopoudres surélevées que pour les chimie assistée par plasmaCes systèmes produisent des plasmas stables et à haute densité, idéaux pour les environnements de recherche et industriels.

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