Plasma

Les technologies plasma de SAIREM offrent plasmas micro-ondes à haute densité pour des applications avancées telles que dépôt de couches minces, gravure sèche, activation de surface, réduction des émissions de gaz et procédés power-to-X. En combinant sources de plasma micro-ondes, générateurs haute performance et contrôle intelligent de l'énergieCes systèmes offrent une stabilité et une uniformité inégalées.

Cette approche intégrée permet solutions plasma évolutives convient aux deux recherche en laboratoire et production industrielleLes systèmes plasma SAIREM sont largement utilisés dans des secteurs tels que semi-conducteurs, matériaux avancés, diamants de synthèse et technologies environnementales.

Grâce à ses multiples conceptions de sources plasma adaptées à différents régimes de pression et exigences de processus, SAIREM offre la flexibilité nécessaire pour optimiser même les applications plasma les plus exigeantes.