Deckel. Membranmanometer beheizt

CDG025D-X3 – Hochtemperatur-Kapazitätsmembranmessgerät

Das CDG025D-X3 Serie liefert genaue Messung und Regelung des Gesamtdrucks für anspruchsvolle Halbleiter- und Plasmaprozesse. Gebaut mit temperaturgesteuerte Manometer, diese Messgeräte gewährleisten überlegene Stabilität und Präzision auch in rauen Umgebungen.

Warum CDG025D-X3 wählen?
✔ Hochtemperatur-Design – Perfekt für fortschrittliche Prozesswerkzeuge
✔ Linearer Ausgang – 0 bis 10 V Drucksignal für einfache Integration
✔ Flexible Konnektivität - Unterstützt Geräte Netz, Profibus und EtherCAT
✔ Alle gängigen Flanschtypen – Für universelle Kompatibilität
✔ Wartungsfrei – Keine langfristige Neukalibrierung erforderlich

Standardausstattung:

Sensor mit zwei Sollwerte für doppelten Kontaminationsschutz und schnelle Wiederherstellung vom atmosphärischen Druck
Nullstellung per Knopfdruck oder Fernsteuerung zur Bequemlichkeit

Technische Highlights:

Druckbereich: Vollausschlag von 0.13 mbar bis 1333 mBar (0.1 Torr bis 1000 Torr)
Sollwertgenauigkeit:
• 1–1000 Torr: ± 0.2%
• <1 Torr: ± 0.5%

Ideal für Halbleiterfertigung, Plasmaprozesse und hochpräzise Vakuumregelungkombiniert der CDG025D-X3 Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Konnektivität in einer robusten Lösung.