Prozessgasanalyse

Erweiterte Prozessgasüberwachung

ReacTorr-S™ setzt den Maßstab für echte In-Prozess-Überwachung sowie einem automatisiertes Einlassventil das einen konstanten Druck im Massenspektrometersystem aufrechterhält – unabhängig von Prozessschwankungen. Im Kern befindet sich ein hochempfindliches Quadrupol-Massenspektrometer sowie einem verbesserte geschlossene Ionenquelleliefern hervorragende Stabilität, schnelle Reaktion und direkte Montage auf das Prozesswerkzeug für echte Überwachungsbedingungen. In Kombination mit einem benutzerfreundliche Software-Suite, es sorgt dafür Prozessintegrität und Effizienz jeder Schritt des Weges.

ReacTorr-V™ geht mit der Flexibilität noch einen Schritt weiter. automatisierte Einlasssensoren die sich dynamisch an Prozessdruckänderungen anpassen. Weitbereichseinlass ermöglicht die Überwachung von Atmosphärendruck (1000 mbar) bis hin zu Hochvakuum (10⁻⁹ mbar). Mit Nachweisgrenzen im niedrigen ppb-Bereich und einem kompakte Stellfläche (30 × 30 cm)ReacTorr-V™ kann direkt an oder neben Ihrem Vakuumprozesswerkzeug montiert werden – dies verbessert die Prozessintegrität, ohne Platz zu beanspruchen.

Die wichtigsten Vorteile:
✔ Konstantdruckregelung für stabile Analysen
✔ Extrem breiter Druckbereich – Von der Atmosphäre bis zum Hochvakuum
✔ Nachweis niedriger PPB-Werte für Genauigkeit im Spurenbereich
✔ Kompaktes Design für eine einfache Integration
✔ ESS-Zuverlässigkeit – Konzipiert für anspruchsvolle Umgebungen

Perfekt für Halbleiterfertigung, Dünnschichtabscheidung und kritische VakuumprozesseReacTorr-Systeme liefern Geschwindigkeit, Präzision und Haltbarkeit.