HV-Rund-Sputterquelle

Modulares Design für Flexibilität, Einheitlichkeit und langfristige Leistung

Unsere runde Sputterquellen sind auf Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit ausgelegt. Mit einem Modulare Magnetanordnung vollständig vom Kühlwasser isoliertDiese Konstruktion verhindert Magnetkorrosion und Leistungsverschlechterung und gewährleistet so Langzeitstabilität und gleichbleibende Sputterergebnisse. Die modulare Bauweise ermöglicht zudem einfacher Zugang zur internen Magnetkonfigurationermöglicht einen flexiblen Betrieb mit derselben Quellhardware.

Diese Quellen können wie folgt konfiguriert werden:

• Ausgeglichener oder unausgeglichener Magnetronbetrieb
• Ziele aus magnetischem Material
• Dioden-Sputteranwendungen

Trotz ihrer kompakten Bauform ist die Leistung beeindruckend. Einstellbar Neigungswinkel vor Ort ermöglichen die Feinabstimmung der Abscheidungsgeometrie und erzielen so eine hervorragende Schichtgleichmäßigkeit. Entgegen gängiger Annahmen ist die Gleichmäßigkeit besser als ±1 % wurden erreicht am 4.0″-Substrate unter Verwendung von abgewinkelten ST20-Quellen (2.0″ Zielgröße) kombiniert mit einfacher Substratrotation.

Wichtige technische Daten

• Zieldurchmesser: ST10 bis ST40 (1.0″ – 4.0″)
• Maximale Leistung (DC / HF): 150 / 150 W bis 1500 / 1000 W
• Kühlwasserdurchfluss: 0.5 – 3.0 l/min
• Durchmesser des Quellkopfes: 1.80″ (45.7 mm) bis 5.63″ (143.0 mm)
• Quellenkopfhöhe: 1.50″ (38.1 mm) bis 4.80″ (122.0 mm)