Kristall-Sensorhalter

Zuverlässige Überwachung für kurze und lange Ablagerungsstrecken

Während der Dünnschichtabscheidung elektrische Eigenschaften des Quarzkristalls—sicher im Sensor gehalten — verändern sich mit der Materialansammlung. Diese Veränderungen werden präzise gemessen, um zu bestimmen Abscheidungsrate und Filmdicke.

Für kurze Ablagerungsläufeherunter, eine Einkristallsensor ist in der Regel ausreichend. längere oder ununterbrochene Prozesse, Dualkristallsensoren werden bevorzugt. Duale Sensoren verlängern die Betriebszeit, indem sie abwechselnd einen Kristall schützen, während der andere aktiv ist, indem sie einen pneumatisch betriebener Verschluss Die Steuerung erfolgt über eine Druckluftleitung.

Die Sensorintegration ist flexibel:

• Sensoren können sein direkt an die Durchführung geschweißt für eine robuste, dauerhafte Installation
• Or verbunden über Steckverbinder für einfachen Austausch und Wartung

Die meisten Sensorkonfigurationen sind auch erhältlich mit integrierte KühlleitungenDadurch wird die thermische Stabilität und eine längere Lebensdauer der Kristalle auch bei anspruchsvollen Abscheidungsprozessen gewährleistet.